芯片關(guān)鍵工藝(AA POLY CT M1)
芯片關(guān)鍵工藝分為幾步:AA(就是離子注入的主要位置)、poly(多晶硅材質(zhì),電壓就是壓在他上面)、CT(這里指下面晶體管跟上面金屬線的連接層)、M1(金屬線第一層,一般越先進(jìn)的工藝,金屬線排布越復(fù)雜,不過工藝條件差不多,以第一層來代替后續(xù)工藝),AA、Poly更是將晶體管定義出來了,關(guān)鍵之處不言而喻,后面的CT、metal不過是將這些晶體管連起來的管路而已,特別是metal,都是重復(fù)堆疊,相比較而言更考驗(yàn)CMP(就是研磨,現(xiàn)在的東西鍍膜了要通過CMP磨平,金屬線填充的高低起伏要靠CMP磨平,所以現(xiàn)在金屬線的工藝水平幾乎受CMP制約)的能力。
做AA、Poly,最考驗(yàn)litho和etch(刻蝕,一般指離子刻蝕),怎么樣曝出來符合要求的尺寸,fab叫CD(critical dimension,特征尺寸,其實(shí)就是大家常說的45nm工藝等,poly的線寬),是最核心的工藝,一般fab里最頂尖的機(jī)臺(tái)和工程師就是為這個(gè)服務(wù)的,intel有魚鰭結(jié)構(gòu)的,后面或者3D晶體管,這個(gè)必須大牛才能解釋清楚了。

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