方法：程序中打開新的進程，刪掉程序后，再銷毀進程本身
步驟：
1、生成刪除的BAT
2、運行BAT
3、快速退出
4、BAT開始刪除EXE
5、BAT刪除BAT
實現：

/// <summary>
/// 刪除程序自身（本文地址：http://www.rzrgm.cn/Interkey/p/DeleteItself.html）【推薦】
/// </summary>
private static void DeleteItself()
{
    string vBatFile = Path.GetDirectoryName(Application.ExecutablePath) + "\\DeleteItself.bat";
    using (StreamWriter vStreamWriter = new StreamWriter(vBatFile, false, Encoding.Default))
    {
        vStreamWriter.Write(string.Format(
            ":del\r\n" +
            " del \"{0}\"\r\n" +
            "if exist \"{0}\" goto del\r\n" +
            "del %0\r\n", Application.ExecutablePath));
    }

    //************ 執行批處理
    WinExec(vBatFile, 0);
    //************ 結束退出
    Application.Exit();
}

[System.Runtime.InteropServices.DllImport("kernel32.dll")] 
public static extern uint WinExec(string lpCmdLine, uint uCmdShow);

參考：
C#刪除程序自身【總結】